SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
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產(chǎn)品名稱: SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
產(chǎn)品型號: 4214
產(chǎn)品展商: SIMCO ION
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
的詳細(xì)介紹
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號，兼容10 nm Model 4214
即使在高純度N 2環(huán)境下，4214型靜電消除儀也支持“擴(kuò)展ISO等級1,10nm”的高清潔度，并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
特點(diǎn)
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采用超低顆粒單晶硅電極。
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采用獨(dú)特的清潔機(jī)制，不會將顆粒釋放到外部，確保穩(wěn)定的長期清潔
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采用不需要任何調(diào)整的智能控制電路
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內(nèi)置傳感器不斷監(jiān)測離子產(chǎn)生，以實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
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集成緊湊型設(shè)計(jì)，內(nèi)置控制器和電源
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自動高壓關(guān)閉功能可在低流速下保護(hù)產(chǎn)品
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超低顆粒應(yīng)用的理想選擇，如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝
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24 V DC驅(qū)動器
規(guī)范
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輸入電壓
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24 V DC +/- 5％6 W（典型值）。
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離子平衡
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<+/- 25 V 150 mm距離40 LPM無管道連接
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靜電消除時(shí)間
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<10秒150毫米距離40 LPM無配管連接
+/- 1 kv→+/- 100 v取決于充電板顯示器
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離子生成方法
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電暈放電型高頻交流系統(tǒng)
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清潔程度
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ISO等級1,0.1微米“擴(kuò)展ISO等級10nm”*
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電極
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單晶硅可交換
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相應(yīng)的吹掃氣體
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N 2> 99.998％
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流量
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40 LPM（36.5 Kpa）至90 LPM（171 kPa）
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*大吹掃壓力
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207 Kpa（= 100 LPM流量）
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*高氣體溫度
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60攝氏度
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N 2吹掃連接
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世偉洛克3/8“外徑管道
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電離N 2連接
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世偉洛克1/2“外徑管道連接，帶1 / 4NPT內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
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工作溫度范圍
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15至60攝氏度
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信號輸出
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打開/關(guān)閉觸點(diǎn)時(shí)的報(bào)警和離子減少輸出
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維
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長度152.4毫米x寬度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
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重量
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640克
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外觀
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不銹鋼
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安裝方法
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背面M5螺絲螺絲長度小于10毫米
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關(guān)于擴(kuò)展ISO等級1,10納米
？ION Systems專門定義了清潔度的定義，以便應(yīng)對精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一個(gè)粒徑10nm的
